장비예약관리
장비조회
비접촉 3차원 미세형상 측정 장치 3D NanoSurface Profiler
- 시설장비등록아이디 : J-20240911184 (제우스 시설장비등록번호 : )
- 보유기관 : 한국생산기술연구원 / 제주기술실용화본부
- 제작사/모델명 : 나노시스템 / NanoView 2400
- 활용범위 : 공동활용허용
- 활용대상 : 기관내부활용
- 예약방법 : 예약의뢰
- 이용방법 : 이용자직접사용
- 장비설명
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비접촉 3차원 미세형상 측정 장치
- 구성 및 기능
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○ 주요사양 및 성능 - Measurement Method : White Light Scanning Interferometry / Phase Shift Interferometry - F.O.V Lens : 1.0x (Default) - Interferometric Objectives : 5Lens Available (Manual Turret) - Illumination : White Light LED Illumination - Scanning Range : MAX 270um (PZT Scanning) - Scanning Velocity : 12um/sec (1x~5x user-selectable) - Tip / Tilt : Probe Tip/Tilt ±6° Manual - Vertical Resolution : WSI : 0.5nm / PSI : 0.1nm - Lateral Resolution : 0.2 ~ 4um (Objectives / FOV Lens Dependent) - St
- 사용 예
- ○ 마이크로/나노 코팅, 패터닝, 구조체 형성 등 다양한 결과물의 형상 ○ 생물학적 시료의 표면 측정, 반도체 소자의 형상측정 ○ 표면조도 및 3차원 이미지 획득을 통한 데이터 확보 ○ 분석 소프트웨어를 통한 다양한 분석 이미지 획득
- 이용안내
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담당자 문의
- 이용료 안내
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담당자 문의
- 문의전화
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064-754-1514
- 설치장소
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제주특별자치도 제주시 제주대학로 102 제주대학교